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油擴(kuò)散泵是用來獲得高真空或超高真空的重要設(shè)備。其主要特征尺寸為泵入口直徑，當(dāng)入口直徑確定之后，其他連接尺寸和主要性能參數(shù)都有標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定。擴(kuò)散泵的入口直徑在65-1600mm之間，極限壓力最低可達(dá)10-8PA，抽氣速率可以從每秒幾十升到十幾萬升，最大出口壓力在30-70PA之間。它廣泛應(yīng)用于真空冶金、真空熱處理、真突鍍膜、電子工業(yè)、航空航天、原子能等工業(yè)領(lǐng)域。
油擴(kuò)散泵主要由擋油帽、泵體、泵芯、電加熱器和擋油器五大部分組成。通過這五部分結(jié)構(gòu)形狀、尺寸的變化，可以衍生出許多不同的結(jié)構(gòu)形式
油擴(kuò)散泵按擋油帽可分為水冷和無水冷的兩種型式。根據(jù)泵體油擴(kuò)散泵可分成直腔泵和凸腔泵，根據(jù)泵芯蒸汽噴嘴的級(jí)數(shù)，可分成二級(jí)泵、三級(jí)泵，四級(jí)泵和五級(jí)泵。
根據(jù)加熱器的安放位置.可分為內(nèi)加熱擴(kuò)散泵和外加熱擴(kuò)散泵。當(dāng)前市場(chǎng)上銷售的泵大多數(shù)是外加熱式，加熱器為普通電爐，熱損失比較大。從節(jié)能的角度考慮，今后應(yīng)發(fā)展內(nèi)加熱式泵，但應(yīng)合理解決加熱器的電絕緣和通過泵壁的密封問題。
擴(kuò)散泵上還有一些輔件，包括油溫繼電器，水溫電器，油標(biāo)，灌油口、放油口，快速冷卻器等�？焖倮鋮s器其實(shí)就是纏繞在泵體底部靠近電爐的冷卻水管，泵在正常工作時(shí)不通水，當(dāng)泵停止加熱時(shí)，通入冷卻水，目的是使擴(kuò)散泵油快速冷卻，以便停止前線機(jī)械泵的運(yùn)行，達(dá)到省時(shí)、節(jié)電的目的�？焖倮鋮s器通水，一直到泵底溫度接近50℃時(shí)，方可斷水。
油擴(kuò)散泵使用的注意事項(xiàng)
調(diào)試好的新泵可直接接人真空系統(tǒng)工作。舊泵或長(zhǎng)期放置的新泵，在接人真空系統(tǒng)前，應(yīng)對(duì)泵中零件進(jìn)行清潔處理，并換油。
①除去泵芯表面和泵壁上的雜質(zhì)和各種油污。
②用丙酮、四氯化碳或干凈汽油擦洗各零體和泵內(nèi)壁表面，玻璃油擴(kuò)散泵用重鉻酸鉀洗液淸洗。保持周圍環(huán)境清潔，無灰塵，然后用熱風(fēng)吹干。
③按順序?qū)⒈眯狙b人泵體內(nèi)，調(diào)整好各級(jí)噴嘴間隙，然后按規(guī)定數(shù)量加足泵油，可根據(jù)經(jīng)驗(yàn)測(cè)量油層深度，一般約1?2cm深即可。
④檢査加熱電爐的電爐絲是否燒斷、短路，電爐的絕緣性能、保溫性能是否良好。
⑤檢查水冷管（或水冷套）是否漏水、堵塞，要求水路暢通，水量充足。
⑥將泵接入真空系統(tǒng)，并對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行檢漏，要求系統(tǒng)漏氣率在允許范圍內(nèi)。
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